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超纯水设备，是指采用某种合适的工艺，制备出符合某种高端产品用水的设备，其水中的导电介质几乎完全去除，同时不离解的气体、胶体以及有机物（包括细菌）也去除至很低程度的水。其电导率一般为0.1~0.055uS/cm，电阻率（25℃）＞10MΩ•cm ，含盐量＜0.1㎎/L.理想纯水(理论上)电导率为0.055 uS/cm，电阻率（25℃）为18.3MΩ•cm。常见在半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。由于超纯水的制备要求较高，现今市场上能够制备出此种水质的原料也较少，其主要工艺可分为如下两种方式，以下就对常见的超纯水设备工艺的性能特点及主要工艺流程做简要的概述：

超纯水设备的性能特点及主要工艺流程

　1、传统工艺：自来水→砂滤器→碳滤器→软水器→保安过滤器→一级反渗透→混合床
　此种工艺为较早的制备超纯水的工艺，其出水水质可达到15-18MΩ•cm，多年来在诸多的使用者中已熟练应用，同时又有低廉的初期制作成本，因此在较多的人眼中，超纯水设备即为此种传统工艺设备；但其也拥有不足的地方，如：混床的再生需使用酸、碱，在再生的途中又不可连续制水，此时就带来了运行费用的增加、操作人员的压力及熟练程度加强、对于需连续造水的用户需备混床，现场再生完的污水的排放又带来了“环保”的问题，以上诸点因素现实使用者带去了思考。
　2、新进工艺：自来水→砂滤器→碳滤器→软水器→保安过滤器→一级反渗透→二级反渗透→EDI装置→抛光混床→精密过滤器
　此种工艺为近些年新起的一种，环保、高较的超纯水制备工艺，在短短数年时间内已被诸多的使用者接受，并使用于真实案例中，其与传统工艺的区别主要在于EDI装置部份，在些，要想更多的了解此套工艺，需先对EDI进行述说：
　电去离子（Electrodeionization）简称EDI，是一种将离子交换技术，离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。属高科技绿色环保技术。EDI净水设备具有连续出水、无需酸碱再生和无人值守等优点，已在制备纯水的系统中逐步代替混床作为精处理设备使用。这种先进技术的环保特性好，操作使用简便，愈来愈多地被人们所认可，也愈来愈多广泛地在医药、电子、电力、化工等行业得到推广。

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